我司已于**年8月承接《******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目环境影响报告书》的编制任务，根据环发[**]*号《环境影响评价公众参与暂行办法》第九条要求，现将《******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目环境影响报告书简本》进行公示并征求公众意见，公示期及征求意见起止时间为为自本公告发布日期起十个工作日内。您可以通过信件、E-mail、电话、传真等形式向建设单位及我司索取相关补充信息。 征求公众意见的范围主要为武汉华星光电技术有限公司周边居民、团体等，征求意见主要事项为对“******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目”建设的意见、看法及关心的环境问题。在公示期内，我司将协同建设单位对项目所在地周边居民、团体等发放公众参与调查表征求公众意见。您也可以通过信件、E-mail、传真等形式向建设单位、我司及武汉市环保局东湖新技术开发区分局（审批环境影响报告书的行政主管部门）提交对项目的书面意见。 附件1：******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目建设单位及环评单位联系方式 附件2：******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目环境影响报告书简本 湖北君邦环境技术有限责任公司 **年9月*日 武汉华星光电技术有限公司第******代LTPS（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目 建设单位及环评单位联系方式 一、建设项目的建设单位名称及联系方式 建设单位：武汉华星光电技术有限公司 联系人：尹先生 联系电话：*****5 通讯地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷智能制造产业园左岭大道8号 电子邮件：yinyanping@****** 二、承担评价工作的环境影响评价机构名称和联系方式 评价机构名称：湖北君邦环境技术有限责任公司 联系人：尹先生 联系电话：*7-**** 通讯地址：武汉市发展大道*6号兴城大厦A座*1 电子邮件：gimbol@****** 武汉华星光电技术有限公司第******代LTPS（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线项目 环境影响报告书简本 1、建设项目情况简述 ******、项目背景 随着OLED技术的不断发展以及市场竞争加剧的推动，近期各大公司陆续推出了曲面屏终端设备，吸引了大量消费者的目光，同时研究资料也显示高解析度搭配曲面屏幕将会是未来手机屏幕主流。在经过充分调研和论证的基础上，武汉华星光电技术有限公司拟在在建t3项目（第6代LTPS（OXIDE） LCD/AMOLED显示面板生产线项目，简称“t3项目”，已于**年9月取得环评批复）******（OXIDE）AMOLED柔性显示面板研发线，在已掌握的LTPS/AMOLED制造工艺技术的基础上，重点突破柔性化（Flexible）工艺制造技术，并实现产业化的过程。 ******、项目建设主要工程内容 ******占地及产品方案 本项目建设地点位于在建t3项目主生产厂房L*层，不新增用地，亦不新建厂房。项目总投资为**8万元，其中建设投资为**8万元，流动资金为**万元。玻璃基板尺寸为*0mm×*0mm，设计产能为**片/月（Q-cut）柔性AMOLED基板，及**片/月（Q-cut）非柔性AMOLED基板。 ******项目组成 拟建项目组成见下表。 拟建项目组成一览表 类别 | 项目名称 | 在建t3项目 | 拟建项目 | 主体工程 | 生产厂房 | 包括阵列/彩膜/成盒厂房，模组厂房2栋主厂房，整体连通设计 | 依托在建t3项目 | 生产线 | 阵列工程生产线，彩膜工程生产线，成盒工程生产线，模组工程生产线和一条AMOLED研发线 | 新建一条AMOLED研发线，增加相应生产设备 | 辅助工程 | 原辅材料及成品仓库 | 若干个，包括测试、QC&QA、技术管理、设备维修，主要布置在各生产产房内；设置有玻璃暂存库房及原辅材料、成品、半成品站储存库等，连接阵列和彩膜/成盒厂房 | 依托在建t3项目 | 化学品库 | 1座1层，位于厂区西南侧，主要化学品包括剥离液、稀释剂、光刻胶、蚀刻液、ITO蚀刻液、显影液等 | 依托在建t3项目 | 特气站 | 1座1层，位于厂区西南侧，内部存贮有NH3、1%PH3+H2、NF3、SF6、Cl2等特殊气体 | 依托在建t3项目 | 硅烷站 | 1座1层，位于厂区西南侧，储存有SiH4 | 依托在建t3项目 | 大宗气体站 | 1座1层，位于厂区西南侧，用于储存制备高纯氮气、高纯氧气、高纯氢气、高纯氩气、高纯氦气等 | 依托在建t3项目 | 化学药品输送系统 | 一套，用于输送剥离液、稀释剂、光刻胶、蚀刻液、ITO蚀刻液、显影液、清洗剂、清洗液等生产用化学品 | 依托在建t3项目 | 公用工程 | 给水系统 | 生产用水和消防用水由市政自来水管网提供。厂内生产、生活、消防分别设独立的供水系统 | 依托在建t3项目 | 排水系统 | 排水系统采用雨污分流制。雨水收集后经厂区雨水管网排出;生活污水经化粪池和隔油池处理后通过厂区排放口排入左岭污水处理厂处理;生产废水经在建废水处理站处理达标后排入左岭污水处理厂处理 | 依托在建t3项目 | 动力设施 | 设有1座综合动力站，位于阵列/彩膜厂的西北侧，站内设置有给水系统、纯水系统、循环冷却水系统、空调/净化处理系统，冷却水系统、蒸汽系统、工艺压缩空气系统、工艺真空系统、清扫真空系统、供电系统、应急供电系统等;此外，在厂区西北侧设置有1座*0KV变电站。 | 依托在建t3项目 | 环保工程 | 废水处理系统 | 建有1座废水处理站，布置在厂区西北角，内设有铝蚀刻废水处理系统，酸碱废水处理系统，染料废水处理系统，有机废水处理和回收系统。 | 依托在建t3项目 | 废气处理系统 | 包括酸碱废气处理系统、工艺尾气处理系统、剥离液废气处理系统和有机废气处理系统，位于生产厂房的房顶 | 本项目CVD废气新增一套布袋除尘器。其他废气均依托在建t3项目 | 废液回收系统 | 设有ITO蚀刻液储罐（1用1备）、废Al蚀刻液储罐（1用1备）、废ITO再生剥离液储罐（1个）、废光刻胶＋稀释剂废液储罐（1用1备）、废剥离液储罐（1用1备）、丙酮-NMP-掩膜版清洗液收集槽各1个。 | 新增2台含银废液储罐 依托在建t3项目 | 噪音污染防治 | 采用低噪音设备，采取减频、消声等降噪措施，厂房和设备房采取吸声和隔声等降噪措施。 | 依托在建t3项目 | 固废仓库 | 1座1层，位于厂区西北侧。 | 依托在建t3项目 | 办公区 | 办公区域 | 位于研发大楼 | 依托在建t3项目 | 食堂 | 位于厂区西南角 | 依托在建t3项目 |
******工艺及产污环节概述 ******.1工艺说明 本项目总体工艺路线包括阵列（Array）、有机蒸镀（OLED）、柔性化工程（flexible）、及模组（Module）四大制程，******。AMOLED生产主要包括蒸镀制程技术和封装测试技术等，柔性化工程主要包括激光切割和激光取下等技术。 （1）阵列工程 阵列工程是在玻璃基板上加工形成显示图像的像素、控制向像素写入数据的薄膜三极管、存储数据信号的电容器及导电线路等组件。为制作这些组件，根据设计图形制作的相应掩膜（mask），通过掩膜光刻制程在玻璃基板上形成各类薄膜功能层。由于组件在玻璃基板表面按二维矩阵有序排列，因此称其为阵列基板形成工程（阵列工程）。 拟建项目阵列生产采用外购的*0×*0mm专用阵列玻璃基板，经清洗后在表面清洁干净的阵列玻璃基板上涂敷一层PI（聚亚酰胺）层，之后按照设计结构和不同结构层的生成顺序，采用4次化学气相沉积、4次物理气相沉积和3次离子注入等方式形成所需要有源层、B掺杂层、栅极绝缘层、栅极（Mo）、B/P掺杂层、层间介电层、源极（Mo/Ti）、钝化层、平坦层、金属层、有机阻挡层和有机间隔层等功能组件，制得阵列基板。阵列基板经光学检查机检验合格后，送OLED工序。拟建项目阵列工程各组件功能层通过*次照相蚀刻（掩膜光刻）制程制得，涉及工艺主要由玻璃基板清洗、照相蚀刻（掩膜光刻）、等离子增强化学气相沉积（PECVD）镀膜、真空溅射沉积镀膜（PVD）、离子注入（掺杂）、光刻胶剥离、蚀刻（干法/湿法）及检测等组成。 （2）OLED工程 OLED（有机发光二极管，Organic Light Emitting Display）是指有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的现象。根据这种发光原理而制成显示器被称为有机发光显示器，也叫OLED显示器。根据驱动方式的不同，OLED分为主动式驱动（有源驱动，AMOLED）和被动式驱动（无源驱动，PMOLED）。拟建项目产品采用有源驱动的AMOLED显示技术，与传统显示技术相比，其厚度较普通液晶显示屏薄，能大大节省原材料，且更易于实现高亮度和高分辨率。 拟建项目AMOLED（有源有机发光显示器件）是利用LTPS TFT信号控制技术，通过对透明阳极与金属阴极间的有机发光薄膜注入电子与电洞，并利用其在有机发光薄膜间复合，将能量转成可见光，不同的有机发光材料可发出不同颜色的光，从而实现全彩显示的要求。 拟建项目每月制作的**片TFT玻璃基板中，**片用于制作柔性AMOLED试验片，**片用于制作非柔性AMOLED试验片。 （3）柔性化工程 完成蒸镀后采用化学气相沉积（CVD）的方式在OLED表面沉积一层致密零缺陷的薄膜保护层进行封装。封装后的OLED基板进入柔性化工序。 拟建柔性工序主要是将封装完成的OLED从玻璃基板上转到柔性基板上，包括超声波清洗、保护膜贴附、激光剥离、取下、二次保护膜贴合、偏光片贴合等工序。 薄膜封装好的OLED首先经过纯水清洗后，在基板的TFT面敷上一层PET保护膜。之后采用激光将玻璃基板和柔性衬材进行剥离并取下玻璃基板，最后在玻璃基板与柔性塑料衬底分割面覆上PET保护膜。完成柔性化的OLED送入模组工程。 （4）模组工程 模组工程是将显示面板与外部驱动芯片和信号基板相连接，并组装防护罩，在加温状态下作老化处理，经过最后电气特性检查后即成为AMOLED模块（最终产品）。 ******.2产污说明 （1）废气 本项目产生的废气包括生产中的酸性废气、碱性废气、剥离废气、有机废气和工艺尾气及公辅工程中燃气锅炉燃气废气（污染物为NOx、SO2及颗粒物）、食堂油烟废气（污染物为油烟）等。 酸性废气主要来源于工艺流程中的湿法蚀刻工序，主要污染物为NOx(硝酸分解)和磷酸等；碱性废气主要来源于光刻工序中使用的碱性显影液，主要污染物为氨； 有机废气主要来源于阵列工程掩膜光刻及有机蒸镀等使用各类光刻胶、光阻剂、稀释剂、剥离剂、荧光化合物等有机物质为原料的工序，剥离废气来源于使用剥离液将玻璃基板上多余的光刻胶剥离的过程，两类废气主要污染物均为挥发性有机物。 工艺尾气来自自阵列工程等离子增强化学气相沉积（PECVD）、离子注入（掺杂），主要污染物为硅烷、磷烷、氨气、颗粒物，干法刻蚀(DE)工序主要污染物为氯气、氟化物、SO2及颗粒物等。 （2）废水 本项目废水主要来源于生产线及办公生活。 生产线产生的废水按其成分性质分为酸碱废水、含氟废水、含银废水、有机废水（TMAH废水、剥离废水和有机废水）、清洗废水，其中清洗废水经过滤处理后作为中水回用。 （3）固废 本项目产生的固废分液态废物和固态废物两类。废液类主要包括含银废液、ITO刻蚀废液、剥离废液、光刻胶废液、废显影液等；固态废物主要有生产废物（碎玻璃、废包装材料、废金属等）、废FPC板及办公生活垃圾等。 （4）噪声 本项目噪声主要来源于生产设备等，噪声值较小。 2、建设项目对环境可能造成影响的概述 ******大气环境影响分析 本项目废气分为酸性废气、碱性废气、有机废气、工艺尾气和剥离液废气，经分别集气、处理后，通过排气筒高空排放。经过预测，项目排放SO2和NO2能够达到《环境空气质量标准》（GB**-**）二级标准；氯化氢、氟化物、氯及氨能够达到《工业企业设计卫生标准》（TJ*-*）中居住区大气中有害物质的最高容许浓度；挥发性有机物能够达到《室内空气质量标准》（GB/T**3-**）TVOC的8小时平均值。 ******水环境影响分析 ******地面水环境影响分析 本项目产生的污废水主要为生产废水和生活污水，本项目废水排放量约为*0m3/d，其中生产废水排放量为*6m3/d，生产废水中酸碱废水*m3/d、含氟废水*m3/d、含银废水*m3/d、剥离废水*6m3/d、TMAH废水*m3/d和有机废水*m3/d。拟建项目建成后全厂废水排放总量不会增加，约为**0m3/d。 生产废水经过厂区内污水处理站处理后，达到左岭污水处理厂设计进水指标后排入左岭污水处理厂（达到开发区政府规定的左岭污水厂接管标准后，排放至左岭污水厂）。生活污水经化粪池等处理后达到《污水综合排放标准》（GB**-**）表4三级等标准后排入左岭污水处理厂。生产废水和生活污水经左岭污水处理厂进一步处理后排入长江。 ******地下水环境影响分析 本项目水源采用市政供水，为地表水源，不使用地下水作为供水水源，不采用渗井、渗坑等方式排放废水，不会因项目用水需要引起地下水水位下降或引起环境水文地址质问题。本项目运行期间有化粪池、污废水池体和污废水管道等污染源，通过对此类设施进行防渗处理及加强管理，项目对地下水的影响较小。 ******声环境影响分析 本项目生产区主要噪声源产生的噪声经过减振、消声等降噪治理以及随距离衰减后，东南两侧厂界噪声能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB**8-**)中的4a类标准要求，西北两侧能满足GB**8-**中的2类标准要求。 ******固体废物影响分析 本项目产生的固废分危险废物和一般工业固废两类。危险废物主要包括废HW*(废矿物油)、HW*(蒸镀有机废物、废光刻胶)、HW*(POU及废气布袋除尘器收尘)、有机溶剂(HW*)、HW* (ITO蚀刻废液)和HW*（其他废物）等。一般工业固废主要为废玻璃、废靶材及废包装材料等。危险废物交由具有相应处置资质的危险废物处置单位处理，一般固废能回收利用的交由物质回收公司或厂家回收利用，不能利用的交由其他处置单位进行合理处置。 本项目固体废物经以上途径妥善处理后，各项固废得到了资源化、减量化和无害化处置，排放量为零，不对周边环境产生影响。 ******环境风险分析 本项目主要风险事故类型包括有毒气体（磷烷、氯气和氨气）泄漏及火灾爆炸。根据事故统计及风险识别，评价确定本项目环境风险可信事故为氯气、磷化氢和氨气储罐与管线连接处泄漏，有毒气体通过气体库房外逸。 本项目建成后突发环境风险事故虽对外环境可能产生影响，但其风险概率及风险后果较小，在落实、完善风险防范措施、应急预案的前提下，风险值可接受。 3、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点 ******废气防治措施 本项目产生的生产废气主要包括酸碱废气、剥离液废气、有机废气和工艺尾气。酸碱废气、剥离液废气、有机废气的处理依托在建t3项目，其中酸碱废气采用湿法喷淋吸收工艺进行处理，喷淋洗涤塔的处理溶液循环使用定期排放并接入酸碱废水处理系统处理；有机废气采用沸石转轮浓缩焚烧+湿法喷淋吸收处理工艺；剥离液废气采用二级冷凝+酸液喷淋吸收工艺处理。工艺尾气采用设备自带POU焚烧后经在建t3项目湿法喷淋吸收工艺进行处理，喷淋洗涤塔的处理溶液循环使用定期排放并接入含氟废水处理系统处理；根据分析结果，本项目废气污染物能够满足《大气污染物综合排放标准》（GB**7-**）表2二级和无组织排放监控点标准限值、《恶臭污染物排放标准》（GB**4-*）表1新扩改建二级和表2标准等。 ******废水防治措施 ******地面水污染防治措施 本项目产生的废水包括生产废水和生活污水，两类废水分类收集单独排放，本项目新增一套含银废水/液处理系统（蒸发结晶装置）处理含银废水，其他生产废水均依托在建t3项目废水处理系统分质处理，分类排放。生活污水经化粪池等处理后能够达到《污水综合排放标准》（GB**-**）表4三级标准，其中氨氮、总氮和总磷排能够达到《污水排入城镇下水道水质标准》（CJ*3-**）B级标准。 含银废水采用蒸发结晶装置进行蒸发浓缩，蒸发残液作为危险废物委外处置。酸碱废水进入酸碱废水处理系统经两级调节pH后排放；含氟废水进入含氟废水处理系统经两级中和沉淀后排放；剥离废水分别经絮凝、混凝沉淀等预处理后排入有机废水处理系统再处理。有机废水经厌氧+一级好氧+缺氧+二级好氧+沉淀处理后和处理后的酸碱废水、含氟废水及含磷废水进行混合，从生产区生产废水排污口排放。 通过分析，本项目建成后，全厂生产废水经以上处理设施及工艺处理，排放的废水能够满足左岭污水处理厂设计进水水质要求。 ******地下水污染防治措施 （1）本项目生产车间、工业废水处理站、化粪池等均需进行防渗处理，并应加强维护管理，避免跑、冒、滴、漏现象的出现，定期对废水处理站、化粪池、化学品仓库、废液储罐以及固体废物临时堆场等防腐、防渗措施进行检查，若发现渗漏现象，应采取紧急措施制止污染扩散，然后再对污染区域逐步净化。 （2）本项目贮存危险废物时按废物的种类和特性进行分区贮存，确保符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB**7-**)和《危险废物收集 贮存 运输技术规范》(HJ**-**)等标准或技术规范的要求。 ******噪声防治措施 本项目主要噪声源来自生产设备的机械噪声，通过选用低噪声设备，采取减振、消声等降噪措施，厂房和设备房采取隔声、吸声等降噪措施以降低噪声对周围环境的影响。根据声环境影响预测结果，厂界噪声能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB**8-**）。 ******固体废物防治措施 本项目生产过程中产生的一般工业固体废物由专业废品回收公司及相应处置单位进行处置，危险废物交由有危废处置资质的单位统一处理，生活垃圾由环卫部门定期清运。本项目产生的各类固体废物均能够得到妥善的储存以及处理、处置。 ******环境风险防范措施 化学品严格按照《常用化学危险品贮存通则》（GB **3-**）要求进行物料存储。设置有毒有害气体探测和报警系统，设专人*小时值班。所有有毒/易燃气体管路均应采用双芯管，并在外层管内布置若干探头，且自动联动系统在管路内发生正负0.*%的流量压力扰动，则迅速切断气体→VMB→机台。特殊气体气柜配有自动尾气处理系统和排风系统，需排放特气经过尾气处理系统处理后，经过排风系统再次净化后排放。 仓库工作人员应进行培训，经考核合格后持证上岗；制定应急处理措施，编制事故应急预案，配备相应项目灭火器材。 4、环境影响评价结论的要点 拟建工程符合产业政策和城市规划的要求，符合相关规划及地方环保政策的要求；本项目建成后产生的废水、废气、噪声和固体废物等污染物经采取相应的环保措施治理后，各类污染物可以稳定达标排放，对周围环境的影响可以控制在国家有关标准和要求允许范围内。从环境保护角度分析，本项目的建设是可行的。 |